此次開(kāi)發(fā)的表面封裝型MEMS角加速度傳感器
村田制作所宣布在全球率先開(kāi)發(fā)出了表面封裝型的MEMS角加速度傳感器。這款新產(chǎn)品是通過(guò)融合加速度傳感器和角速度傳感器的設(shè)計(jì)技術(shù)以及MEMS工藝成功開(kāi)發(fā)出來(lái)的。新產(chǎn)品的賣點(diǎn)是尺寸小于Lead Type角加速度傳感器。新產(chǎn)品的投產(chǎn)時(shí)間正在討論中。
新產(chǎn)品的尺寸為5.2mm×2.5mm(標(biāo)準(zhǔn))×0.8mm(Z大),擁有1kHz以上的檢測(cè)頻帶。據(jù)介紹,用傳感器及檢測(cè)電路產(chǎn)生的噪聲除以傳感器靈敏度得到的噪聲有效值在1rad/s2rms以下(檢測(cè)頻帶為1Hz~25kHz、與村田制作所的指定IC組合使用時(shí))。
